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LEXIKON

Röntgenlithographie

Röntgenstrahlenlithographie
Verfahren zur Herstellung von Hochleistungschips. Dabei werden die Strukturen der elektronischen Leitungsbahnen mit Röntgenstrahlen auf die Siliciumplatte übertragen, was die Projektion schmalerer Bahnen erlaubt (0,250,5 μm) als bei Belichtung mit gewöhnlichem Licht.
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