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LEXIKON

Inenpumpe

eine Vakuumpumpe zur Herstellung eines Hochvakuums bis unter 10 12 mbar Druck; arbeitet durch Ionisieren der in einem bereits weitgehend evakuierten Gefäß noch vorhandenen Restatome oder Restmoleküle, die dann durch elektrische Felder aus dem Gefäß abgesaugt oder durch Getter gebunden werden.
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