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WAHRIG FREMDWöRTERLEXIKON

Kathodenzerstäubung

Ka|tho|den|zer|stäu|bung
f.; , en; El.
Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Kathode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird; oV Katodenzerstäubung
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